2023年7月，苏州惟光探真科技有限公司正式推出其自主研发的晶圆级半导体载流子浓度与应力测试系统，该系统的发布为半导体材料及器件的先进制程提供了关键的检测解决方案，有望显著提升第三代半导体材料如 SiC、GaN 以及 MicroLED 新型器件制造过程中的良率控制能力。

惟光探真依托自主知识产权的核心技术，包括激光辅助离焦量传感器、小型化科勒照明系统，以及高稳定性的系统集成设计、数据处理和软件算法等，成功开发出针对半导体先进制程的测试系统。该系统能够有效应对 SiC、GaN 等第三代半导体材料在制造过程中面临的发光性质、应力和载流子浓度不均匀等新问题，通过荧光和拉曼光谱技术，提供准确的测量数据，帮助晶圆厂商深入了解材料特性，从而优化生产工艺，开拓良率控制的新途径。

在半导体制造过程中，准确掌握载流子浓度和应力分布对于确保芯片性能和可靠性至关重要。载流子浓度的不均匀会导致器件性能不一致，而应力问题则可能引发芯片裂纹、变形等缺陷，严重影响产品质量和成品率。惟光探真的测试系统能够在晶圆级进行快速、准确的检测，为半导体制造商提供及时有效的反馈，有助于在生产早期发现并解决问题，降低生产成本，提高生产效率。

此外，惟光探真以其供应链的国产稳定性和可控性，以更高的性能、更好的应用服务和更具竞争力的价格，致力于在半导体显微和光谱市场领域实现国产替代。这不仅有助于推动国内半导体产业的自主创新发展，也为国内晶圆厂商提供了更可靠、更经济的技术支持。

此次推出的晶圆级半导体载流子浓度与应力测试系统，是惟光探真在半导体光电测试领域的又一重要突破。公司总经理刘争晖表示，团队将继续致力于晶圆级半导体光电测试装备的研制和产业化应用，为半导体行业提供更多创新解决方案。

随着半导体产业向更高性能、更小尺寸的方向不断发展，对先进测试技术的需求也日益增长。惟光探真的新系统有望在行业内广泛应用，推动半导体制造技术的进一步提升，为相关领域的技术创新和产业升级注入新的动力。