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真空互联原位光谱测试工作站

半导体生长与测量过程是在真空中进行，因此对于半导体生长与测量也可称为真空互联生长与测量系统。真空互联生长与测量系统通常包括三大类子系统：1）生长系统：MBE，MOCVD，磁控溅射，ALD等，2）表面形貌与能谱检测：SPM，AFM，角分辨光电子能谱和俄歇扫描显微镜，3）光谱学检测：PL稳态与瞬态光谱，高低温系统，Raman光谱等。惟光探真研制的真空互联原位光谱测试工作站，主要用于半导体晶圆缺陷，应力

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InSitu900原位光谱测试探头与系统

InSitu900 光谱探头与系统具有其高共聚焦性和高灵敏度，透过防护玻璃或窗口等遮挡物对样品进行测量，从而可以研究反应室或其他封闭空间内的物质和化学反应过程，获得反应过程中的真实可靠数据、动态变化信息、非平衡或瞬态信息，同时还避免了非原位测试由于样品制备和转移等步骤所带来的污染、迟豫和不可逆性等问题，这将大大助力艺术、考古学、地质学或材料科学领域的化学结构探索。此外InSitu900不但可以对样品进行原位的PL光谱，Raman光谱进行测量，也可以升级到时间分辨Raman等功能，有效避开荧光干扰，还包括LIBS原子光谱。

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