2022 年 11 月,苏州惟光探真科技有限公司宣布推出一款新型自动对焦显微镜,该显微镜专为晶圆缺陷检测而设计,有望提升半导体制造过程中的检测效率和准确性。惟光探真专注于显微光学和光谱学量测技术,此次推出的新产品是公司在半导体检测领域的重要突破。
这款自动对焦显微镜集成了先进的光学技术和智能对焦系统,能够快速、准确地对晶圆表面进行高分辨率成像。在晶圆制造过程中,微小的缺陷可能会影响芯片的性能和成品率,传统的检测方法往往需要人工操作和长时间的聚焦调整,效率较低。惟光探真的自动对焦显微镜通过内置的智能算法,能够在瞬间完成对焦,大大缩短了检测时间,同时提高了缺陷检测的精度。
显微镜的自动对焦功能不仅提高了检测速度,还减少了人为误差,使得检测结果更加可靠。显微镜配备了高分辨率的图像传感器和先进的图像处理软件,能够清晰地捕捉到晶圆表面的细微缺陷,包括划痕、颗粒、裂纹等。这些信息对于半导体制造商优化生产工艺、提高产品质量具有重要意义。
此次推出的自动对焦显微镜是惟光探真在半导体检测领域长期研发的成果。公司拥有一支由光学、物理、电子等领域专业人才组成的研发团队,致力于为半导体行业提供先进的检测解决方案。此次新产品的发布,标志着惟光探真在推动半导体检测技术国产化和自主创新方面迈出了重要一步。
随着半导体产业的快速发展,对晶圆检测技术的需求日益增长。惟光探真的自动对焦显微镜将为国内半导体制造商提供更加高效、精准的检测手段,助力提升我国半导体产业的整体竞争力。