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多维度光谱测试系统
LOE900光束诱导光电流扫描成像系统

惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。

LOE900光束诱导光电流成像系统光电流扫描成像和显微镜一体式设计，同时可用插槽式扩展增加其它波长的激光器，增加拉曼光谱与Mapping，荧光光谱成像系统等与功能，兼容性与扩充性极佳，广泛用于二维材料，结晶度分析，太阳能电池，储能材料，探测器光电性能检测，晶圆体分析，探测器检测等研究。

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产品概述
LOE900光束诱导光电流成像系统利用振镜显微成像扫描技术，对样品表面做一个快速扫描。产生的光电流信号通过探针引到电流源表，再显示在软件界面，做成成像图显示样品表面电流分布。光电流测量是目前材料分析领域蕞热门的研究课题之一，尤其是在半导体和太阳能电池开发行业。

  • 超快扫描成像（大于1000谱/S）
  • 超紧凑结构（光电流扫描成像和显微镜一体式设计）
  • 可增加高低温恒温器，锁相放大器，斩波器等
  • 成本低（客户仅需要在原来的探针台或者拉曼设备上做改造就可以，不需要额外购买平移台，这是振镜扫描的优势所在）
  • 可视化和人性化软件（定制研发了电流源表输出和成像扫描视觉窗口，客户在一个界面实现光电流数据和成像mapping的对比比较方便）
  • 可扩展增加其它波长的激光器与功能，插槽式设计，兼容性与扩充性极佳，很容易增加拉曼光谱与Mapping，荧光光谱成像系统等

性能参数

显微镜

正置或倒置

镜头

10X，50X

其他可选

探针台

直径65mm真空吸附卡盘

探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合

样品位置单独二维移动，方便同类样品更换

样品位置移动行程25mm，分辨率5µm

探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7µm

探针：钨针，直径5µm，10µm，20µm可选

扫描速度

大于1000谱/S

源表

电流源表：Keithley 2450

测量范围：1nA – 1A

暗噪声：50pA

分辨率：20fA

准确度： 0.03%

也可根据用户需求选择

激光器

标配532nm激光器

其他波长可选：405nm / 633nm / 785nm

光路

振镜光路设计

可以兼容低温台

扫描范围

扫描范围300×300 μm²。

最小分辨率1 μm

数据采集

电流源表：Keithley 2450

测量范围：1nA – 1A

暗噪声：50pA

分辨率：20fA

准确度： 0.03%

也可根据用户需求选择

探针台

直径65mm真空吸附卡盘

探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合

样品位置单独二维移动，方便同类样品更换

样品位置移动行程25mm，分辨率5µm

探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7µm

探针：钨针，直径5µm，10µm，20µm可选

测试功能

光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值

I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线

可升级模块

Raman Mapping模组

FLIM模组

PL Mapping模组

晶圆扫描模组

功能

光电流成像

光电流测量（源极/漏极、栅极依赖性）

应用领域

石墨烯，二维材料，半导体工业，结晶度分析，太阳能电池，储能材料，探测器光电性能检测，

晶圆体分析，探测器检测，器件吸收和电荷生成的微区特性。
革命性的插槽式并联光路设计
  • 强大的光路稳定性
    取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
  • 无限拓展的可能性
    显微镜光路，荧光，Raman，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与Raman测试，依次并联，无限拓展
  • 定量测试的高准确度
    激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
  • 更多的功能实现
    荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。

相关实测数据
  • 光电传感器光电流Mapping
    （扫描范围0.2mmx0.2mm）
  • 二维材料光电流Mapping
    （扫描范围70μmx70μm）
  • 钙钛矿光伏材料光电流Mapping
    （扫描范围0.28mm*0.16mm）


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