lrs900,全功能,共聚,焦raman,光谱,系统 - 苏州惟光探真科技有限公司

产品介绍

LRS900共聚焦Raman光谱系统把拉曼光谱仪和一个标准的光学显微模组耦合在一起，可以使用高放大倍数物镜观察样品形貌，同时也可以用显微的激光光斑进行拉曼分析。LRS900操作简便，只需将样品置于显微镜物镜下，聚焦后即可进行测量。仅仅给拉曼光谱仪添加显微镜并不能控制采集特定体积内样品的拉曼信号――要实现这个目标必须增加空间滤波器。共焦显微拉曼光谱仪可以实现在横向(XY 平面内)以及纵向(Z 方向) 的空间滤波功能，从而控制采集某特定体积内样品的拉曼信号。

革命性的插槽式并联光路设计

强大的光路稳定性
取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
无限拓展的可能性
显微镜光路，荧光，Raman，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与Raman测试，依次并联，无限拓展
定量测试的高准确度
激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强
更多的功能实现
荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。

性能参数

特点	独特的插槽式设计，兼容多个波长与多个功能稳定的一体化外观，一体化运输，一体化安装强大的软件解析与测试功能丰富的数据处理能力
光路设计	采用并联式插槽光路，提高系统稳定度和重复性，可通过插入新的模组来扩展新的波长与新的功能
超高精度XYZ电动平台	具备拉曼 Mapping 功能和3D层析扫描成像功能；XY自动位移台：扫描范围X ≥ 50 毫米， Y ≥ 50 毫米，最小步长≤200nm；Z扫描范围 ≥ 9 mm，最小步长≤100nm
Z轴自动对焦	配置激光自动聚焦模块，利用激发光本身测量物镜离焦量，通过自动调整Z轴对焦电机，保持样品时刻处于较好聚焦状态，以便获取3D表面形貌图，实现快速、实时自动聚焦拉曼成像； 100x物镜下，Z轴对焦精度 ≤ 60 nm，动态量程 > 60 μm
自动激光功率校准	可对激光功率进行实时监控和校准，保证结果的准确性和可重复性，并有效防止样品损伤
电动物镜切换	显微镜物镜配5X，10X，20X，50X，100X镜头，镜头可通过软件电动切换
激光器波长	532nm， TEM00单模，激光器出口功率 > 50 mW；其他波长可选：325nm/633nm/785nm
空间分辨率XY /µm	纵向分辨率：1um@532nm 激光横向分辨率：500nm@532nm 激光
透射式光谱仪	85mm焦距透射式单色仪，高通量1800刻线透射式光栅；探测器采用科学级深制冷光谱CCD相机，有效像素数2000 * 256，峰值QE达95%，可扩展EMCCD，ICCD，InGaAs 阵列等探测器，分别用于满足高速高灵敏、高灵敏时间分辨、近红外波段扩展等特殊需求；光谱分辨率优于7cm-1；光谱范围50-3000 cm-1；信噪比：≥20:1@硅三阶峰
反射式光谱仪（可选）	320mm焦距CT式单色仪，可同时安装3块光栅，狭缝宽度0.01-3mm电动控制，110-5高杂散光抑制比；探测器采用科学级深制冷光谱CCD相机，有效像素数2000 256，峰值QE达95%，可扩展EMCCD，ICCD，InGaAs 阵列等探测器，分别用于满足高速高灵敏、高灵敏时间分辨、近红外波段扩展等特殊需求；光谱分辨率优于2cm-1；光谱范围50-3000 cm-1；信噪比：≥30:1@硅三阶峰
软件功能	. 统一的软件平台和模块化设计； . 良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等； . 成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析扫描成像等； . 智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组； . 可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。
分析软件	VisualSpectra光谱图像数据处理软件： . 显示：针对光谱Mapping数据的处理，一次性操作，可对整个图像数据中的每一条光谱按照设定进行批处理，获得对应的谱峰、寿命、成分等信息，并以伪彩色或3D图进行显示； . 基础处理功能：去本底、曲线平滑、去杂线、去除接谱台阶、光谱单位转化； . 进阶功能：光谱归一化、选区获取积分、最大、最小、最大/最小值位置等； . 谱峰拟合：采用多种峰形（高斯、洛伦兹、高斯洛伦兹等）对光谱进行多峰拟合，获取峰强、峰宽、峰位、背景等信息； . 高级功能应力拟合：针对Si、GaN、SiC等多种材料，从拉曼光谱中解析材料的应力变化，直接获得应力定量数值，并可根据校正数据进行校正；载流子浓度拟合晶化率拟合主要特色 1. 从上升沿拟合光谱响应函数（IRF），无需实验获取。 2. 区别于简单的指数拟合，通过光谱响应函数卷积算法获得每个组分的荧光寿命，光子数比例，计算评价函数和残差，可扣除积分和响应系统时间不确定度的影响，获得更加稳定可靠的寿命数值。 3. 最多包含4个时间组分进行拟合主成分分析和聚类分析
拓展功能	PL Mapping FLIM LBIC Mapping 2-8寸晶圆扫描自动聚焦高低温变温测试结合AFM升级到AFM+Raman原位测试振镜扫描成像高低温振镜扫描成像 3D激光直写
光路结构	开放式或全封闭式光路可选

晶圆级半导体拉曼系统测试数据

SiC晶圆残余应力

应力分布（MPa）
峰强分布（a. u.）
峰位分布（cm-1）

截线应力分布
边缘应力略大于中央，中心小部分区域有异常的残余应力分布，SiC应力分辨能力＜20Mpa

晶圆中心应力异常区域

应力分布（MPa）
峰强分布（a. u.）
峰位分布（cm-1）

晶圆中心异常区域的3D应力分布

中心区域不同深度扫描-应力变化，随着深度方向，异常区域逐渐缩小

应用方向

药物和化妆品
地质学和矿物学
碳材料
半导体材料
生命科学

拉曼联用技术

Raman-AFM：拉曼分析和原子力显微镜的组合能够在纳米尺度上提供样品形貌信息，以及由拉曼光谱和拉曼图像获得的化学信息。最终结果对样品表征更具综合性。拉曼和原子力显微镜的组合还可以用来进行针尖增强拉曼散射研究，实现真正纳米尺度的拉曼分析。

Raman-PL：拉曼分析和光致发光的组合能够在一台仪器系统中同时表征材料的振动特性和电子特性。典型的应用包括确定半导体材料和纳米材料的带隙、杂质水平、缺陷探测、重组机制以及材料品质。拉曼－光致发光组合系统可以在亚微米的空间分辨率进行共焦成像。从紫外到近红外的激发波长都适用，便于控制激光在材料内的穿透深度，进而控制取样的体积范围。

Raman-LIBS：LIBS与拉曼光谱技术相结合，可以提供互补信息，拉曼光谱提供物质分子结构信息，LIBS技术提供微量及痕量元素的原子光谱信息。二者结合将在遥感检测、文物鉴定、爆炸物检测分析等领域具有巨大的应用潜力。

Raman-SEM：扫描电镜和拉曼联用一体化系统，简称RISE显微镜(Raman imaging and scanning electron microscopy)系统。RISE显微镜通过将Raman显微镜与SEM集成于同一显微镜系统中，实现了两者的优势互补。拉曼技术在分子级别上提供样品的化学结构、组分信息；而SEM可在纳米尺度上提供高空间分辨率的形貌图像；将以上技术联用，使用SEM观察样品形貌，并为拉曼选择测样点，用拉曼得到样品化学结构与组分。该系统有效克服了传统Raman显微镜景深小、对比度差及空间分辨率低等不足,使得在同一样品区域同时获取纳米尺度下的形貌、结构和化学信息成为可能,并能够直观展示各组分在材料中的分布状况。此外，还可将Raman-SEM-CL三者结合起来，提供更加丰富的信息。将CL引入电镜腔室，利用电镜的电子束激发样品得到荧光信号，可分析得到样品的结构缺陷、杂质以及痕量元素分布等信息。当然，也可以分别用这三种技术做成像，并把图像重叠起来进行分析。将扫描电子束与光谱仪同步，可提供快速成像方案。

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