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LRS900全功能型共聚焦Raman光谱系统

惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。LRS900共聚焦Raman光谱系统是以拉曼检测为主，并可拓展PL Mapping，FLIM，LBIC Mapping，振镜扫描成像等多种功能，该产品具有操作简单易上手，功能多样用途广等优势，采用模块化设计，一体化组装，搭配统

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FST900全功能型显微稳态与瞬态荧光光谱成像系统

惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。FST900系列稳态与瞬态荧光光谱成像系统专注于稳态及时间分辨光谱测试，并可拓展Raman光谱与成像，光电流成像，振镜扫描成像等多种功能，采用自主开发的具有微米级高空间分辨的共聚焦荧光技术，具有优异的稳定性、可重复性和高可靠性

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SR900半导体晶圆应力＆载流子浓度测试系统

在半导体制造过程中，诸如退火、切割、光刻等工序会在材料中引入应力。这些应力可分为张应力和压应力，分别对应拉伸和压缩作用。适当的应力有助于提升器件性能，例如在硅晶体中引入张应变可提高电子迁移率，从而增强器件速度。然而，过度或不均匀的应力可能导致材料缺陷、晶圆翘曲，甚至影响器件的可靠性和寿命。SR900半导体晶圆应力&载流子浓度测试系统作为一种非破坏性检测技术，能够高灵敏度地检测材料中的应力状

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SF900半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统

PL 测试是一种无损的测试方法，可以快速、便捷地表征半导体材料的缺陷、杂质以及材料的发光性能。其主要功能包括：1）组分测定；对三元或四元系合金，如InxGa1-xN 等，通过PL 峰位确定半导体材料的禁带宽度，进而确定材料组分x ；2）杂质识别；通过光谱中的特征谱线位置，可以识别材料中的杂质元素；3）杂质浓度测定；4）半导体材料的少数载流子寿命测量；5）位错等缺陷的相关作用研究。SF900半导体晶

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DUVL900 超宽禁带半导体深紫外激发荧光测试系统

超宽禁带半导体材料如氮化铝家（AlGaN）和氧化镓（Ga2O3）相较于传统的半导体材料硅（Si）拥有更高的临界电场强度、更高的热导率和更大的饱和电子漂移速率，这些优异的性能使得利用宽禁带和超宽禁带半导体材料制作的半导体功率器件更能满足现代工业对于高功率、高电压、高频率、小体积的需求。宽禁带半导体材料的表征以载流子浓度计载流子迁移率为主。一直以来对于超宽禁带半导体材料的光谱学表征，受限于激发光源的，

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DUVOE900 深紫外光电流测试系统

近年来，宽禁带半导体材料已日趋成为日盲紫外光电探测领域的研究热点。目前，已经有各种各样的宽禁带半导体材料被用于制作日盲光电探测器，如铝镓氮（AlxGa1-xN）、氧锌镁（ZnxMg1-xO）、氧化镓（Ga2O3）和金刚石（Diamond）等。氧化镓作为继GaN和SiC之后的超宽禁带半导体材料，能够满足高效、低能耗、高频和高温等高性能应用的需求，在高压电力控制、射频通信、日盲探测、恶劣环境信号处理等

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LPM900系列光电综合光学测试系统

惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。LPM900系列综合光学测试系统，采用独有的插槽式光路设计，集合自动聚焦显微镜，Raman光路，振镜扫描光路，荧光光路，并且放置有大型载物台，可以实现从显微到微区，再到2-8寸晶圆的大范围扫描，实现Raman Mapping，

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LOE900光束诱导光电流扫描成像系统

惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。LOE900光束诱导光电流成像系统光电流扫描成像和显微镜一体式设计，同时可用插槽式扩展增加其它波长的激光器，增加拉曼光谱与Mapping，荧光光谱成像系统等与功能，兼容性与扩充性极佳，广泛用于二维材料，结晶度分析，太阳能电池，

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LIBS-E900 实验室版LIBS分析系统

LIBS-E900实验室版LIBS分析系统采用完整、安全的外罩设计，便于运输和现场开箱即用，LIBS-E900相比于市面上已有的其他品牌的LIBS系统，其强大的优势在基于激光和视觉算法的自动对焦系统，对样品表面实时跟踪，实现LIBS的自动跟焦和Mapping。软件操作简单，一键即可实现全自动化测试，强大的视觉功能，可实现Mapping图，并自动完成谱图生成，并对样品元素成分分布进行伪色彩区分显示。

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