惟光探真开发出的自动对焦显微镜,可以满足半导体集成电路工艺线从表面缺陷检查到图形尺寸测量等各环节自动化视觉检测需求。我们的自动对焦显微镜具有自动聚焦功能,可在无图案晶圆上实现自动聚焦和表面跟踪,此外还可以通过软件控制,实现自动调焦、寻区、切换物镜等功能,加大的节省了用户操作时间,具有极佳的操作便利性。
激光自动聚焦 |
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物镜 |
10×, |
20×, |
50×, |
100×, |
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离焦量/分辨率 |
<1μm |
<0.5μm |
<0.2μm |
<0.06μm |
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量程 |
>±1.5 mm |
>±0.3 mm |
>±50μm |
>±30 μm |
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激光光斑 |
~2μm |
~2 μm |
~1μm |
~1μm |
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测量时间 |
<20 ms(50 Hz),可调节最高100 Hz |
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激光波长 |
808 nm(<1mW,波长可选650 nm) |
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供电 |
5V,3A |
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通信接口 |
USB 3.0 |
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显微成像 |
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物镜 |
5×, |
10×, |
20×, |
50×, |
100×, |
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视野 |
1/2” |
2.0×1.5mm |
1.0×0.7 mm |
0.50×0.38 mm |
0.20×0.15mm |
0.10×0.75 mm |
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2/3” |
3.0×2.3 mm |
1.5×1.1mm |
0.76×0.57 mm |
0.30×0.23mm |
0.15×0.11 mm |
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1” |
4.0×3.0 mm |
2.0×1.5 mm |
1.0×0.7 mm |
0.40×0.30 mm |
0.20×0.15 mm |
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典型空间分辨率 |
2μm |
1μm |
0.7μm |
0.5μm |
0.4 μm |
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照明均匀性边缘/ |
>0.64 |
>0.92 |
>0.85 |
>0.83 |
>0.87 |
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供电 |
5V,2A |
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数据接口 |
USB3.0 |