苏州惟光探真科技有限公司
自动对焦
自动对焦显微镜

惟光探真开发出的自动对焦显微镜,可以满足半导体集成电路工艺线从表面缺陷检查到图形尺寸测量等各环节自动化视觉检测需求。我们的自动对焦显微镜具有自动聚焦功能,可在无图案晶圆上实现自动聚焦和表面跟踪,此外还可以通过软件控制,实现自动调焦、寻区、切换物镜等功能,加大的节省了用户操作时间,具有极佳的操作便利性。

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产品概述
惟光探真开发出的自动对焦显微镜,可以满足半导体集成电路工艺线从表面缺陷检查到图形尺寸测量等各环节自动化视觉检测需求。我们的自动对焦显微镜具有自动聚焦功能,可在无图案晶圆上实现自动聚焦和表面跟踪,此外还可以通过软件控制,实现自动调焦、寻区、切换物镜等功能,加大的节省了用户操作时间,具有极佳的操作便利性。
  • 激光自动聚焦
    自主研制的激光辅助离焦量传感器。
    可在无图案晶圆上实现自动聚焦和表面跟踪。
    辅以图形边缘识别,实现双模式自动调焦。
  • 明场成像和照明系统
    自主研制的小型化科勒照明系统。
    照明视场均匀、无暗角,成像视场中心和边角均有高对比度和解析度。
  • 全自动操作
    全软件控制,自动调焦、寻区、切换物镜
  • 供应链国产可控

性能参数

激光自动聚焦

物镜

10×,
NA=0.28

20×,
NA=0.40

50×,
NA=0.55

100×,
NA=0.8

离焦量/分辨率

<1μm

 <0.5μm

<0.2μm

<0.06μm

量程

>±1.5 mm

 >±0.3 mm

>±50μm

>±30 μm

激光光斑
尺寸(焦点处)

~2μm

  ~2 μm

~1μm

~1μm

测量时间
(刷新频率)

<20 ms(50 Hz),可调节最高100 Hz

激光波长

808 nm(<1mW,波长可选650 nm)

供电

5V,3A

通信接口

USB 3.0

显微成像

物镜

5×,
NA=0.12

10×,
NA=0.25

20×,
NA=0.40

50×,
NA=0.55

100×,
NA=0.9

视野
4:3相机

1/2”

2.0×1.5mm

1.0×0.7 mm

0.50×0.38 mm

0.20×0.15mm

0.10×0.75 mm

2/3”

3.0×2.3 mm

1.5×1.1mm

0.76×0.57 mm

0.30×0.23mm

0.15×0.11 mm

1”

4.0×3.0 mm

2.0×1.5 mm

1.0×0.7 mm

0.40×0.30 mm

0.20×0.15 mm

典型空间分辨率

2μm

1μm

0.7μm

0.5μm

0.4 μm

照明均匀性边缘/
中心亮度比值

>0.64

>0.92

>0.85

 >0.83

>0.87

供电

5V,2A

数据接口

USB3.0


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