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软件与数据分析
智能化软件平台和模块化设计

惟光探真开发的SpectraMapping智能化软件具有统一的平台,模块化的设计方便用户灵活适配不同的应用场景。此外,可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计,实现复杂的采集和数据处理功能。

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软件介绍
SpectraMapping智能化软件平台和模块化设计主要特点
  • 统一的软件平台和模块化设计
  • 良好的适配不同的硬件设备:平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
  • 成熟的功能化模块:晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析等。
  • 智能化的数据处理模组:与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组,将光谱解析为成分、元素的分布等,为客户提供直观的结果。可根据客户需求定制光谱数据解析的流程和模组
  • 可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计,实现复杂的采集和数据处理功能。


  • 显微光谱成像控制软件界面
  • 激光诱导击穿光谱(LIBS)控制软件界面


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