惟是有光 格物探真
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惟光探真作为一家新兴的光学检测仪器设备供应商，在行业内首次提出多维度模块化插槽式光路设计理念，创新性的设计并生产出涵盖半导体、光伏、显示及生物医学领域等多个领域的高技术产品。
LPM900系列综合光学测试系统，采用独有的插槽式光路设计，集合自动聚焦显微镜，Raman光路，振镜扫描光路，荧光光路，并且放置有大型载物台，可以实现从显微到微区，再到2-8寸晶圆的大范围扫描，实现Raman Mapping，稳态荧光与荧光寿命成像Mapping，光电流Mapping等众多功能。同时，实现基于低温台+振镜下的低温扫描光电流成像，功能齐全，设计思路独特，也可由用户自由选择所需要的功能，并且在后续进行升级。
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Raman与Raman Mapping |
Raman光谱范围 |
80-9000cm-1 @532nm激光器 |
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共焦方式 |
针孔共聚焦 |
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灵敏度 |
硅三阶拉曼峰的信噪比好于20:1，并能观察到四阶峰 |
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空间分辨率 |
≤1µm@100X物镜，NA0.9，532nm单纵模激光器 |
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光谱CCD探测器 |
分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm区间处>90%， 光谱范围：200 ~ 1100 nm |
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激光器波长 |
532nm/638nm/785nm等多波长可选 |
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位移台扫描范围 |
扫描范围大于300×300 mm²。 最小分辨率1 μm。 |
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荧光PLMapping与FLIM |
光谱扫描范围 |
200-900nm |
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最小时间分辨率 |
2ps 或 16ps 可选 |
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荧光寿命测量范围 |
100ps-10us |
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激光器波长 |
193nm/195nm/213nm/266nm/375nm/405nm等多波长稳态与瞬态激光器可选 |
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空间分辨率 |
≤1µm@100X物镜@405nm皮秒脉冲激光器 |
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位移台范围 |
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光电流Mapping |
激光器 |
标配532nm激光器，能量稳定性1%@4小时 可选配2路激光器用于光电流测试 |
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光路 |
振镜光路设计 可以兼容低温台 |
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扫描范围 |
扫描范围大于300×300 mm²。 最小分辨率1 μm。 |
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数据采集 |
电流源表：Keithley 2450 测量范围：1nA – 1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA 准确度： 0.03% 也可根据用户需求选择 |
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探针台 |
直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合 样品位置单独二维移动，方便同类样品更换 样品位置移动行程25mm，分辨率5µm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7µm 探针：钨针，直径5µm，10µm，20µm可选 |
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测试功能 |
光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 |
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低温台 |
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瞬态光电流/光电压测试 |
可以增加脉冲激光器例如ns脉冲YAG激光器，进行瞬态光电流/光电压测试 |
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自动聚焦 |
激光自动聚焦 |
自主研制的激光辅助离焦量传感器。 可在无图案晶圆上实现自动聚焦和表面跟踪。 辅以图形边缘识别，实现双模式自动调焦。 |
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明场成像与照明系统 |
自主研制的小型化科勒照明系统。 照明视场均匀、无暗角，成像视场中心和 边角均有高对比度和解析度。 |
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全自动操作 |
全软件控制，自动调焦、寻区、切换物镜 |
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对焦精度 |
在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 对焦精度 < 0.2 μm |
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晶圆测试 |
样品台 |
8吋吸气台（12吋可定制） 可兼容2、4、6、8吋晶圆片 |
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功能 |
应力测试，载流子浓度，缺陷检测等 |
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软件分析 |
可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。 可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。 主成分分析（PCA）和k-均值聚类处理模块。 将拟合结果以二维图像方式显示。 |
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针对光谱Mapping数据的处理，一次性操作，可对整个图像数据中的每一条光谱按照设定进行批处理，获得对应的谱峰、寿命、成分等信息，并以伪彩色或3D图进行显示。
数据处理软件界面：
. 基础处理功能：去本底、曲线平滑、去杂线、去除接谱台阶、光谱单位转化
. 进阶功能：光谱归一化、选区获取积分、最大、最小、最大/最小值位置等
. 谱峰拟合：采用多种峰形（高斯、洛伦兹、高斯洛伦兹等）对光谱进行多峰拟合，获取峰强、峰宽、峰位、背景等信息。
. 高级功能：荧光寿命拟合，自主开发的一套时间相关单光子计数（TCSPC）荧光寿命的拟合算法，主要特色：1、从上升沿拟合光谱响应函数（IRF），无需实验获取。2、区别于简单的指数拟合，通过光谱响应函数卷积算法获得每个组分的荧光寿命，光子数比例，计算评价函数和残差，可扣除积分和响应系统时间不确定度的影响，获得更加稳定可靠的寿命数值。3、最多包含4个时间组分进行拟合。
