各位真粉们，小薇又要和您见面啦。

今天我们开启Raman光谱产品应用系列第三辑：SR900在MicroLED上的残余应力测试

图1. MicroLED晶圆示意图

图2. 典型GaN峰的拟合曲线

图3 应力拟合方法

测试方案：

 测试区域：定位边向下，63mm边长，20x20方格（图中黄色点）位置采样

 拉曼积分时间1s，激发功率10mW，波长532nm，约10min/片

 通过Si标样，全过程校准由于环境变化造成的拉曼峰位漂移

图4. 第一次测样的应力Mapping图与直方图

图5. 第二次测样的应力Mapping图与直方图

结论：两次测样的重复性很好！

接下来，我们看看穿透表面涂胶层进行测量的情况。

图6. 典型Raman光谱

图7. 典型GaN峰的拟合曲线

图8. 应力Mapping图

图9. 应力分布直方图

以上就是本篇的全部内容啦。

结束得有点突然，对不对，依然延续了我们图多数据多废话少说的特点啦。

下一期，我们将会展示载流子浓度测量的相关数据咯。

下期见！