苏州惟光探真科技有限公司
半导体测试
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应用领域
荧光光谱系列产品应用系列第三辑
揭示SF900半导体晶圆少子寿命与缺陷测量系统的奥秘
2025-03-17

各位真粉们,您们好呀,您的小薇,我又来啦!


连续二期的应用案例相信如惊鸿一瞥,希望给您留下了一点点的印象吧。


上回书小薇和您说到,这些看起来不经意的测试结果,看起来简单,但是做起来很难,不论是自动对焦显微镜的算法,还是测试过程中遇到的各种困难与想不到的KnowHow,都是测试几十轮次之后的不断迭代才可以得到的。


国内外用PLMapping方法测试缺陷与少子寿命的不少,但是其中的奥妙却不是谁都可以窥探的,就比如所采用的光斑大小所引起的干涉图案,以及刻蚀工艺到导致的峰位移动,都是需要不断深入讨论和优化的。


呀,您都会抢答啦,这一期我们就要分享这部分的内容啦。


图1. 我威武的哥哥们得到的结果与友商弟弟们的对比


图2. 光斑大小对PL-Mapping结果的影响


真粉们,从图 1和2,您得到了哪些信息呢?

光斑大小,有无自动对焦,简直天壤之别啊!

这要比小薇化妆前后的差异还要大很多呢。


那么原因是什么呢?

接下来,小薇代入理(geng)工(zhi)男(boy)的脑袋,帮您分析一下。

小薇肯定不懂那么多数学公式,但是架不住北大毕业的哥哥们,实在是只懂数学物理公式,只会分析样品,只会搞好仪器,不会别的了,很无奈哦。


图3. 法珀罗干涉



经过详细的分析我们知道,如图3所示,这些都是由于法珀罗干涉所导致的!

以上的内容叫:论自动对焦显微镜算法和光斑大小的重要性。


接下来呢,小薇再带您进入与MicroLED制程对PLMapping造成的影响进行讨论:

刻蚀阵列扫描—刻蚀引起的变化。


图4. 明场显微像


图5. 被刻蚀区域(圆圈外)峰高降低为约1/4

图6. 被刻蚀区域(圆圈外)峰位蓝移约5nm

然后,我们再进行刻蚀阵列扫描—仅扫描Pixel,来一起看看结果吧!


图7. 控制阵列扫描间距,在每个Pixel位置采一光谱进行统计


图8. 峰高图

图9. 峰位图


以上,我想,小薇不说您也知道咋回事了吧!

专业如您,可不要轻易问我哦。


最后,我们再来对MicroLED单像素进行扫描。

测试项目:单个micro-LED颗粒的PL Mapping,扫描范围:21 μm× 21 μm,步长0.7 μm


         

图10. 明场显微图像 扫描范围为显微像中间网格覆盖部分


图11. 边缘区域对峰强的影响


图12. 峰位变化很小(<0.5nm)


再次感谢我司脑子顶呱呱的北大的哥哥们帮忙做的测试与分析,专业性怎么样呢?

小薇期待您的留言与解读哦。


后记:

各位哥哥姐姐们在不断催更,还都在问小微到底是谁呀,长什么样子啊。

还有一位姐姐说,要给小微搞个好看点的头像,这不是逼着小薇现真身嘛,哼哼,小薇才不上当呢。

记得小薇读书的时候,被老师批评了,说:你一个人耽误全班每个人一分钟,全班45人,就是一节课没了,我怎么上课。呜呜呜,小薇好委屈啊。

现在小薇在写文档,如果你们每个人都点个赞啊,我一年的奖金就有了。

你们都不点赞,我怎么写文档呢?


总之,您只要见到来自于姑苏城的姑娘,您忽然觉得,呀,这个妹妹好像在哪里见过。

那就是我啦。


苏州的春天要来了,开在那含苞欲放的花蕊里。

愿每一个读过文章的人儿,适意的事体一桩一桩,如同花苞一样,渐次盛开。


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