2024年10月，苏州惟光探真科技有限公司正式推出超高真空拉曼原位测试系统及真空互联原位光谱测试工作站，成为行业内极少数可以商业化提供极端环境原位光谱测试系统的供应商之一，打破国外垄断。这两款产品为材料研究、半导体制造等领域提供了先进的原位分析解决方案。

超高真空拉曼原位测试系统将光学显微镜或光谱仪模组与超高真空系统对接，可作为超高真空互联系统的检测节点，用于材料和器件在不同制备环节对外延薄膜或转移沉积二维材料等样品进行快速无损检测。该系统采用模块化设计，光学部分相对独立，集成了光学显微镜、激光离焦量传感器、自动调焦和共聚焦耦合光路等，整体置于超高真空腔体之外，通过视窗玻璃聚焦于真空腔内样品表面，既不污染真空内环境，在超高真空系统烘烤时还可整体取走，烘烤完毕后能方便定位安装。同时，该系统可根据用户需求灵活配置激光器、单色仪、探测器和物镜等光学组件，并对视窗玻璃厚度像差进行补偿校正，实现拉曼光谱的高收集效率和分辨率，以及超高真空长工作距离（120mm）显微测试。

真空互联原位光谱测试工作站则实现了在真空环境中传送样品进行准原位光电子能谱分析。通过在光电子能谱仪分析室引入光纤光路、加热冷却装置，可实现原位光电子能谱表征。该工作站可用于多相催化、环境催化、光催化、太阳能电池、锂离子电池、发光二极管（LED）、场效应晶体管（FET）、薄膜生长等研究领域的原位/准原位光电子能谱研究，能够实现XPS、Raman、PL、AFM、紫外光电子能谱UPS分析以及反光电子能谱 IPES 等分析功能，提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息，对非均相覆盖层进行深度分布分析，对元素及其化学态进行成像，利用 UPS 和 IPES 获得材料的价带信息、导带信息及功函数。

惟光探真此次推出的两款新产品进一步丰富了公司的产品线，为科研人员和工业用户在材料分析和器件表征方面提供了更强大的工具，有望推动相关领域的技术发展与创新。